真空系统恒压恒流调节器技术方案

本实用新型专利技术涉及一种真空系统恒压恒流调节器，包括真空检测单元，采集真空系统的真空度；智能控制单元，接收真空检测单元的信号，执行控制程序，向调节单元发送控制信号；调节单元，接收智能控制单元的控制信号，调节真空系统的真空度；还具有计算机软件单元，通过通讯接口接收智能控制单元上传的数据，向智能控制单元下传控制命令进行远程控制；所述调节单元包括步进电机以及与该步进电机输出轴相连的电动截流阀。本实用新型专利技术可在无人条件下自动调节系统的真空度，控制精度高，也提高了效率，从根本上杜绝了误操作的发生，延用价格低廉的步进电机作为主要执行部件，仍能够实现高精度、高效率的自动控制，降低了生产成本。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种真空系统中的自动调节技术，具体地说是真空系 统恒压恒流调节器。
技术介绍
目前的真空系统，真空度调节大多是由人工手动调节完成，而在大规 模工业生产中或者在有较高危险性的实验中，靠人工调节是不现实的，例 如在半导体镀膜行业，化学物理反应时间往往长达几天，在此过程中，真空度需要保持定值，由人工手动调节存在精确度低、效率低等问题，且容易出现误操作，占用人力，在一些化学物理反应中需要添加烷类等可燃性气体，若在手动操作时出现误操作如反应中的可燃气体比例过多，将会造成极为严重的后果，因此采用自动调节技术势在必行，而目尚未出现有效 的自动调节方案。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足之处，本技术要解决的技术问题是提 供一种可自动获得真空的真空系统恒压恒流调节器。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是本技术一种真空系统恒压恒流调节器包括真空检测单元，釆集 真空系统的真空度；智能控制单元，接收真空检测单元的信号，执行控制 程序，向调节单元发送控制信号；调节单元，接收智能控制单元的控制信 号，调节真空系统的真空度。本技术真空系统恒压恒流调节器还具有计算机软件单元，通过通 讯接口接收智能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空系统恒压恒流调节器，其特征在于包括：　真空检测单元，采集真空系统的真空度；　智能控制单元，接收真空检测单元的信号，执行控制程序，向调节单元发送控制信号；　调节单元，接收智能控制单元的控制信号，调节真空系统的真空度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张军，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，
类型：实用新型
国别省市：89[中国|沈阳]