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晶片清洗装置及晶片清洗方式制造方法及图纸
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文档序号:5978702
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本发明公开一种晶片清洗装置及晶片清洗方式。该晶片清洗装置,包含:一平台,用以承载一晶片,前述的晶片具有一待洗表面、一第一喷嘴设于该晶片的上方,第一喷嘴与晶片的待洗表面之间具有一第一高度以及一第二喷嘴设于晶片的上方,第二喷嘴与晶片的待洗表面之...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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