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本发明公开一种声学感测器，其包括支撑基板，具有一上表面及一下表面，上表面包括第一部分及第二部分，第二部分围绕第一部分；凹槽，自上表面朝下表面延伸，凹槽位于上表面的第一部分与第二部分之间；可震动薄膜，设置于凹槽的正上方，可震动薄膜包括固定部分...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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