【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种声学感测器，包括：支撑基板，具有上表面及下表面，该上表面包括第一部分及第二部分，该第二部分围绕该第一部分；第一凹槽，自该上表面朝该下表面延伸，该第一凹槽位于该上表面的该第一部分与该第二部分之间；可震动薄膜，设置于该第一凹槽的正上方，该可震动薄膜包括固定部分及悬空部分，该固定部分固定于该支撑基板上，该悬空部分的边缘大抵顺应着该第一凹槽的开口的边缘延伸，该悬空部分与该上表面的该第一部分之间隔有内间隙，且该悬空部分与该上表面的该第二部分之间隔有外间隙；以及背板，设置于该支撑基板之上而与该可震动薄膜相对设置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王地宝，郭泰辅，吴嘉昱，陈建铭，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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