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本实用新型提供了一种多晶硅氢还原炉，包括带有冷却装置的炉壳，炉壳安装在炉盘上；炉盘上布有进、出气管，进气管的进气端上设有喷口，炉盘上设有加热电极，电极上一一对应安装有硅芯棒，所述还原炉炉盘下部的进气管与炉盘上部的喷口为可拆卸式连接，所述喷口...
该专利属于四川永祥多晶硅有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川永祥多晶硅有限公司授权不得商用。

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