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一种真空溅镀设备的移动靶装置，包括至少一个设置在该真空溅镀设备的一座腔体中且面朝输入该腔体中的一块基板的待镀表面的靶材、一个能相对该基板移动地设置在该腔体中且承载该靶材的活动靶座以及一个连接该活动靶座的驱动单元。利用该活动靶座能带动该靶材相...
该专利属于北儒精密股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北儒精密股份有限公司授权不得商用。

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