温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开一种用于溅射磁性材料的磁控靶，由外屏蔽罩、磁钢座、 极靴、绝缘座、固定座、靶材压盖、内外磁钢、进出水嘴、联接螺栓和密封橡 胶圈等部分组成。外屏蔽罩和固定座之间采用螺纹手动可调结构。磁钢座材料 为无氧铜，中心放内磁钢，周边钻若干...
该专利属于冯彬;鲁向群;佟辉;刘大为;周颖;刘丽华所有，仅供学习研究参考，未经过冯彬;鲁向群;佟辉;刘大为;周颖;刘丽华授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。