温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种晶片传送装置，包括：滑动座体；设于所述滑动座体的至少一个机械手组件，所述每一个机械手组件包括设于所述滑动座体上的机械臂以及固设于所述机械臂上且适于运载晶片的载片板，所述机械臂适于由驱动装置控制而在所述滑动座体滑动；所述晶片传送...该专利属于无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。