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本发明涉及一种应用于光刻机的掩模版扫描装置，包括：扫描器，包括支架以及设于所述支架的扫描探头；驱动装置，包括电动马达以及传动件；二个光电传感器，适于获取所述扫描器的扫描探头的位置信息；控制单元，与所述驱动装置和光电传感器电性连接，适于根据所...该专利属于无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。