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局限液相磊晶层形成方法技术
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文档序号:5923101
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本发明公开了一种局限液相磊晶层形成方法,在一平坦的载板表面,依序施加第一涂布层及第二涂布层之后,将上述结构置于一高温下,使部份第二涂布层溶入第一涂布层中,随后以适当的降温速率将温度降至室温,此时第一涂布层中的第二涂布层因为过饱和而析出,并在...
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