下载气体分布器的技术资料

文档序号:5772380

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本实用新型涉及一种沸腾炉式三氯氢硅反应器内的气体分布器。由喷板和喷嘴组成,喷嘴中有氯化氢通道,喷板上堆积硅粉,在喷板上每三个喷嘴按正三角形分布,喷嘴气体出口与氯化氢通道间呈40°-50°的夹角。本实用新型喷嘴在喷板上按正三角形分布,喷嘴气体...
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