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一种自动除尘机，其用以清洁多个晶片表面的吸附颗粒，包含：一机体；一正面除尘区，其包括一第一吹气机构及一第一排气机构，该第一吹气机构提供一去离子气流吹向所述晶片的一面，该第一排气机构用以排出该去离子气流；一设置于该正面除尘区的下游的背面除尘区...该专利属于苏州群策科技有限公司;欣兴电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州群策科技有限公司;欣兴电子股份有限公司授权不得商用。