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本实用新型一种整合式等离子体处理机构，其包括：一反应腔、一载盘、以及至少一等离子体源。其中，反应腔包括一底板、一顶板、以及围绕反应腔的一周壁，周壁具有一侧窗以及一进料门，侧窗向外延伸有一侧室，侧室具有一侧壁，且反应腔具有一进气口以及一排气口...
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