下载生产甲硅烷的方法的技术资料

文档序号:5715078

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本发明涉及通过催化歧化三氯硅烷来连续生产甲硅烷和四氯化硅的设备和方法,其中在根据权利要求1的设备中以一定操作温度和1-50bar绝压下操作,在权利要求1的设备中:三氯硅烷(A)在热交换器(7)中预热,并且将预热后的三氯硅烷进料到提供催化剂(...
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