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用于集成电路测试的装置制造方法及图纸
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下载用于集成电路测试的装置的技术资料
文档序号:5706688
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本实用新型涉及一种用于集成电路测试的装置,包括压紧部件(1)、探针定位板(2)和探针,该探针定位板(2)上有与被测集成电路(4)各导电点之间脚距相同的通孔,各探针穿越探针定位板(2)上的通孔;探针为螺圈弹簧(3),各弹簧(3)的上端与被测集...
该专利属于段超毅所有,仅供学习研究参考,未经过段超毅授权不得商用。
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