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本发明涉及一种用于表面检验的系统，其被设置用于探测构成机械结构（５），例如微机械结构或纳米机械结构，之一部分的多个元件（５１）的不同点处的振动和／或相对位移特性。根据本发明，使光束沿第一轨迹（Ａ）沿所述机械结构发生位移，以探测沿所述轨迹（Ａ...
该专利属于康斯乔最高科学研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过康斯乔最高科学研究公司授权不得商用。

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