用于对微机械及纳米机械结构进行检验的系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及一种用于表面检验的系统，其被设置用于探测构成机械结构（５），例如微机械结构或纳米机械结构，之一部分的多个元件（５１）的不同点处的振动和／或相对位移特性。根据本发明专利技术，使光束沿第一轨迹（Ａ）沿所述机械结构发生位移，以探测沿所述轨迹（Ａ）长度的不同的相继参考位置（Ｃ），并使光束进一步沿多个第二轨迹（Ｂ）沿所述机械结构位移，其中每一所述第二轨迹（Ｂ）均与其中一个前述参考位置（Ｃ）相关联。此外，本发明专利技术进一步涉及一种对应方法以及一种实施该方法的程序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】专利
本专利技术涉及例如微悬臂或纳米悬臂、微桥或纳米桥、微薄膜或纳米薄膜等基于微机械或纳米机械结构的装置领域。技术说明人们对基于微机械及纳米机械元件的系统及方法的兴趣正日益增长 (H. G. Craighead 所著的 “Nanoelectromechanical systems”，Science290，第 1532-1535 页(2000年))。微机电系统(MEMS)及基于微悬臂的装置是此种系统的两个相关的实例。现指出其几种应用，MEMS加速度计用于地震探测及监测、汽车气囊感测、以及惯性导航。类似技术用于血压监测。MEMS微镜是作为用于光学电信行业的光子开关而开发出来；微镜也可用于便携式显示器以及激光束定位应用。MEMS也可在生物及化学传感器中用作变送器。还存在各种各样的基于微悬臂的应用，此可被视为其中一种最简单形式的MEMS。例如，微悬臂用于在原子力显微镜方法中对纳米规模的吸引力及排斥力进行灵敏测绘(Y. Martin, C. C. Williams 及 H. K. Wickramasinghe 所著的"AtomicForce Microscope-Force Mapping本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于表面检验的系统，其被设置成探测构成机械结构（５）之一部分的多个元件（５１）的多个点的相对位移和／或振动特性，所述系统包括：　　　　光源（１），其被设置成产生至少一个光束（１１）；　　　　位置敏感探测器（２），其被设置成当所述光束反射出所述机械结构（５）时接收所述光束，并响应于所述光束的接收而产生至少一个输出信号；　　　　电子控制系统（３）；　　　　扫描装置（４），其用于遵循来自所述电子控制系统（３）的指令而使所述光束相对于所述机械结构（５）进行相对位移，以利用所述光束扫描所述机械结构；　　　　其中所述电子控制系统（３）被设置成控制所述扫描装置（４），以使所述光束沿第一轨迹（Ａ）沿所述机...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：FJ塔马约德米古尔，J默滕斯，M卡尔贾戈梅茨，
申请(专利权)人：康斯乔最高科学研究公司，
类型：发明
国别省市：ES[西班牙]