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真空产生装置制造方法及图纸
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文档序号:5679973
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本发明涉及一种真空产生装置,该装置具有一个可在基本位置和工作位置之间转换的阀元件(11)的阀单元(3),阀元件(11)对应两个方向相反的和大小不同的操作面(54、55),这两个操作面分别通过一个电-气动控制阀可控地供给控制空气。阀元件(11...
该专利属于费斯托股份有限两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过费斯托股份有限两合公司授权不得商用。
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