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半导体元件的选取方法、半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:5679631
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本发明的目的是提供半导体元件的选取方法、半导体器件及其制造方法。能够从在半导体衬底(半导体晶片)上形成的多个半导体元件(半导体芯片)中,高效地并且可靠地选出无缺陷(合格品)的半导体元件。本发明的半导体元件的选取方法包括:在半导体衬底的有效区...
该专利属于富士通微电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通微电子株式会社授权不得商用。
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