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本实用新型公开了一种抽气装置，包括第一壳体、管道及抽气机。第一壳体配置于传送接口的侧面及底面周围。第一壳体与传送接口的侧面之间形成抽气信道，且第一壳体具有至少一抽气口。管道连接至少一抽气口。抽气机连接管道。当晶圆盒置于传送接口的底面时，抽气...
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