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本实用新型涉及一种入料装置，提供了一种用于晶圆处理机台的倍速入料装置和晶圆处理机台，其中该机台具有复数汲取位置及位于其上的待处理晶圆，利用入料装置同步汲取及释放待处理晶圆至该输送装置，且该入料装置包含复数承载器及一组对应输送装置的汲取组件。...
该专利属于中茂电子(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中茂电子(深圳)有限公司授权不得商用。

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