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本发明公开了属于微型储能器件及微电子机械加工技术领域，特别涉及一种纳米多孔复合材料的三维微型超级电容电极及其制作方法。该三维微型超级电容电极为在硅衬底上依次为二氧化硅绝缘层、金属电流收集引出层及电极活性材料层，形成三维立体结构的超级电容电极...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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