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双靶磁控溅射法制备钛酸钴薄膜的方法，分别将ＴｉＯ２和Ｃｏ２Ｏ３造粒、预烧制备ＴｉＯ２靶材和Ｃｏ２Ｏ３靶材，再将其分别放入磁控溅射仪的两个射频靶位中；将基片放入丙酮、乙醇混合溶液中再超声清洗备用；将处理后的基片放入磁控溅射仪的镀膜样品台上，对...
该专利属于陕西科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过陕西科技大学授权不得商用。

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