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一种用于对形成在半导体基板上的多个半导体元件进行检测的半导体装置的检测装置（１０），其特征在于，具有：第一基板（１１），具有多个开口（１２），框体（２０），设置在上述开口（１２）内，在框内配设有多个探针（１３），多个第二基板（１４），与上述...
该专利属于富士通微电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士通微电子株式会社授权不得商用。

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