下载用于阵列波导光栅芯片的切缝方法的技术资料

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一种用于阵列波导光栅芯片的切缝方法,是:芯片开槽:首先设定AWG芯片有图形的一面为正面,在预备切缝的AWG芯片切缝位置处的背面,用刀片开一个第一凹槽,所述第一凹槽位置为AWG芯片罗兰圆或阵列波导或者输入输出波导处背面,对应于AWG芯片切缝位...
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