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本发明提供一种探针装置，包括：设置多个端子的线路板；以与线路板形成密闭空间的状态设置的、载置半导体晶片的晶片托盘；设置在线路板与晶片托盘之间的探针晶片，其装置侧连接端子与线路板的端子电连接，其多个晶片侧连接端子与各个半导体芯片一并电连接；设...
该专利属于爱德万测试株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过爱德万测试株式会社授权不得商用。

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