下载探针晶片、探针装置以及测试系统的技术资料

文档序号:5491837

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本发明提供一种测试系统,用于测试在一个半导体晶片上形成的多个半导体芯片,该测试系统具有:晶片基板;和在晶片基板上形成,对各个半导体芯片至少各设置一个,与对应的半导体芯片的输入输出端电连接的多个晶片侧连接端;以及在晶片基板上形成,对各个半导体...
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