下载在Ⅳ族半导体基底上形成外延层的方法的技术资料

文档序号:5491560

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本发明公开在腔体中形成外延层的方法。该方法包括将IV族半导体基底置于腔体中;并沉积纳米颗粒墨,所述纳米颗粒墨包括IV族纳米颗粒组和溶剂,其中形成多孔坯块。该方法也包括利用加热装置加热该多孔坯块至大约100℃到大约1100℃之间的温度,并且加...
该专利属于创新发光体公司所有,仅供学习研究参考,未经过创新发光体公司授权不得商用。

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