下载磨片机砂浆流量自动调节装置及其方法的技术资料

文档序号:5488589

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本发明涉及一种磨片机砂浆流量自动调节装置及其方法,砂浆流量自动调节装置,其特征在于:包括磨料厚度测试部分ALC、可编程控制器PLC控制部分、控制面板及蠕动泵转速控制部分,通过测厚仪ALC发出的TTL信号,控制PLC输出,通过控制中间继电器的...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。

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