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一种离子注入装置、系统与方法，用于在真空与大气压力之间传送多个工件，其中，对准机构可经操作而对准多个工件，以便同时搬运至一个双工件装载闭锁室。对准机构包括识别装置、升降机及用于支撑两个工件的两个垂直对准的工件支架。第一与第二大气环境机器人设...
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