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提供一种在等离子体反应器内用于检测等离子体无约束事件的装置。该装置包括传感器，其是在该等离子体反应器内实现的电容式传感器。该传感器是在等离子体约束区域外实现的并被配置为当该传感器暴露于与该等离子体无约束事件有关的等离子体时产生瞬态电流。该传...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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