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本发明提供了具有高回收效率的简单高纯度Ｘｅ回收方法及设备，其通过从来自半导体制造工艺（例如等离子体蚀刻）的、包含低浓度Ｘｅ的废气中功能性地除去例如水、ＣＯ↓［２］及ＦＣｓ的成分而实现。对于包含氙及氟碳化合物的样品。本发明的特征为至少具有第一...
该专利属于乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司授权不得商用。

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