下载用于将晶片从晶片堆分离的方法和设备的技术资料

文档序号:5484729

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在用于将晶片(12)从竖直晶片堆(16)分离的方法中,晶片(12)从上方经由从上面作用的运动装置(23)被单独地从上方传送离开。运动装置(23)设计为循环带(24)并具有抽吸表面(25),最上方晶片(12)邻接并抵靠抽吸表面,其中,负压抽吸...
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