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压电微型鼓风机制造技术
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文档序号:5484596
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压电微型鼓风机,在鼓风机本体(1)上设置第1壁部(1a)和第2壁部(1b)。在与隔膜(50)的中心部相对的壁部的位置形成开口部(5a)、(5b)。在2壁部之间形成将外部与开口部(5a)、(5b)连通的流入通道(7)。向压电元件(3)施加电压...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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