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微机械结构元件及其制造方法技术
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文档序号:5483203
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本发明涉及微机械结构元件,其包括基件、具有导电材料的偏转件和偏转件绝缘部,该偏转件绝缘部使偏转件的第一与第二区段相互电绝缘。柔性的、导电的第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接,柔性的、导电的第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。还涉及一...
该专利属于罗伯特.博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特.博世有限公司授权不得商用。
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