微机械结构元件及其制造方法技术

本发明专利技术涉及微机械结构元件，其包括基件、具有导电材料的偏转件和偏转件绝缘部，该偏转件绝缘部使偏转件的第一与第二区段相互电绝缘。柔性的、导电的第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接，柔性的、导电的第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。还涉及一种用于制造微机械结构元件的方法，该方法包括以下步骤：提供具有导电的覆盖层的衬底晶片，在覆盖层中蚀刻绝缘沟，该绝缘沟使覆盖层的第一区段与第二区段相互绝缘，以及由衬底晶片构成基件和包括覆盖层的第一区段和第二区段的偏转件，留下柔性的、导电的第一连接元件和柔性的、导电的第二连接元件，该第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接，该第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
微机械结构元件（１００），具有：　　基件（１０２）；　　偏转件（１０４），该偏转件具有导电材料（３００）；　　偏转件绝缘部（１０６，３０２），该偏转件绝缘部使所述偏转件（１０４）的第一偏转件区段（１０８）与第二偏转件区段（１１０）相互电绝缘；　　柔性的、导电的第一连接元件（１１２），该第一连接元件使所述基件（１０２）与所述第一偏转件区段（１０８）连接；和　　柔性的、导电的第二连接元件（１１４），该第二连接元件使所述基件（１０２）与所述第二偏转件区段（１１０）连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：S平特，J弗里茨，
申请(专利权)人：罗伯特博世有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]