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使用了一种照明光学部件，其用于照明用于微光刻的投射曝光设备的物场（１４）。所述照明光学部件包括引导有用光的光束（４）的光学元件的聚光器组（１５）。在所述聚光器组（１５）的下游安排了光束引导元件的物镜组（１８）。所述聚光器组（１５）的至少一个...
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