照明光学部件与投射曝光设备制造技术

使用了一种照明光学部件，其用于照明用于微光刻的投射曝光设备的物场（１４）。所述照明光学部件包括引导有用光的光束（４）的光学元件的聚光器组（１５）。在所述聚光器组（１５）的下游安排了光束引导元件的物镜组（１８）。所述聚光器组（１５）的至少一个元件（ＦＬＧ４、ＦＬＧ５），以及所述物镜组（１８）的至少一个元件（ＲＥＭＡ１、ＲＥＭＡ２）可以被移位来补偿所述物场（１４）的真实照明状态与期望照明状态之间的偏差。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种根据权利要求1的前序所述的照明光学部件。本专利技术还涉及包括 该类型照明光学部件的照明系统、包括该类型照明系统的投射曝光设备、使用该类型投射 曝光设备生产结构化元件的方法以及根据该方法生产的元件。
技术介绍
可以从EP 0，940，722A2和那里所引用的文献中获知开头所命名的类型的照明光 学部件。在这些文献中，在物镜组中提供了可移位透镜组，用于影响物镜组的光学像差并用 于影响物场中有用光的强度分布。DE 10，2006，025，025公开了一种包括聚光器(condenser)组和物镜组的照明光 学部件。所述物镜组包括可移位光学元件。US 6，560，044B2公开了一种包括聚光器组和物镜组的照明光学部件，其中，聚光 器组包括可移位光学元件。US 6，127，095A描述了一种包括聚光器组的照明光学部件，所述聚光器组包括沿 着光轴可移位、相对光轴可倾斜的光学元件。
技术实现思路
本专利技术的目的在于开发一种在物场照明的照明参数上施加补偿效果的开头所命 名的类型的照明光学部件，所述照明参数特别依赖于照明设置，换句话说，照明角度分布。根据本专利技术通过具有权利要求1所陈述本文档来自技高网...

【技术保护点】
照明光学部件（５），照明用于微光刻的投射曝光设备（１）的物场（１４），包括：－引导有用光的光束（４）的光学元件的聚光器组（１５），－光束引导元件的物镜组（１８），且所述物镜组被安排在有用光的光路中所述聚光器组（１５）的下游，其特征在于，－所述聚光器组（１５）的至少一个元件（ＦＬＧ４、ＦＬＧ５），以及－所述物镜组（１８）的至少一个元件（ＲＥＭＡ１、ＲＥＭＡ２）可移位来补偿所述物场（１４）的真实照明状态相对于期望照明状态的偏差。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿特霍格尔，马库斯德冈瑟，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]