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提供出了一种对测试表面（２２）上特征（３６）的高度进行映射的方法（３００）。所述方法包括：将已构图照明光投射到所述特征（３６）上（３１０Ａ），所述已构图照明光具有多个不同的边缘周期。在将已构图照明光投射到所述特征（３６）上的同时获取所述特征...
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