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一种用于在真空腔室中处理基板的系统以及方法。此系统包括一第一机械手、一第二机械手以及一传输机构。第一机械手用以将基板自第一组装载互锁室传输至预处理站，且将基板自处理台传输至第一组装载互锁室。第二机械手用以将基板自第二组装载互锁室传输至预处理...
该专利属于瓦里安半导体设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦里安半导体设备公司授权不得商用。

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