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本发明提供一种装置构成的自由度高、无需进行复杂控制即可提供适当量液体材料的液体材料的填充方法及装置。本发明的液体材料的填充方法及其装置，是利用毛细管现象在衬底与其上所保持的工件的空隙填充从吐出部吐出的液体材料的方法；其特征在于包括：提供步骤...
该专利属于武藏工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过武藏工业株式会社授权不得商用。

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