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本发明的一种实施方式是为高产量而对部件传送进行自动化的技术。携带包含多个部件的舟的舟传送单元（ＢＴＵ）臂从初始位置旋转到位于处理室下方的第一位置。ＢＴＵ臂与用于支撑舟的舟支座相接合。ＢＴＵ臂向上移动到第二位置，从而舟部分地进入到处理室中，离...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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