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提供一种接合方法，能够在微细流路的内表面上形成亲水性的膜，简单地把衬底相互接合起来而制造微芯片。对于在表面上形成了微细流路（１１）的微芯片衬底（１０），在形成了微细流路（１１）的面上形成ＳｉＯ↓［２］膜（１２）。此时，在微细流路（１１）的内...该专利属于柯尼卡美能达精密光学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过柯尼卡美能达精密光学株式会社授权不得商用。
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提供一种接合方法，能够在微细流路的内表面上形成亲水性的膜，简单地把衬底相互接合起来而制造微芯片。对于在表面上形成了微细流路（１１）的微芯片衬底（１０），在形成了微细流路（１１）的面上形成ＳｉＯ↓［２］膜（１２）。此时，在微细流路（１１）的内...