下载用于生产太阳能电池的方法的技术资料

文档序号:5480178

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从P-型掺杂的单晶或多晶硅锭通过切割出多个晶片并且施加一种N-型掺杂来生产太阳能电池。通过利用氟、碳酰氟或NF3对这些晶片进行蚀刻(尤其在一种等离子体辅助的方法中)可以使它们得到改进。由此使表面变粗糙以降低光反射的程度、阻止由切割操作所造成...
该专利属于苏威氟有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏威氟有限公司授权不得商用。

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