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元素氟和碳酰氟是适合用于生产微机电器件（“ＭＥＭＳ”）的蚀刻剂。它们优选作为与氮气和氩气的混合物来应用。如果在Ｂｏｓｃｈ型方法中施用，Ｃ４Ｆ６是一种高度适合的钝化气体。...
该专利属于苏威氟有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏威氟有限公司授权不得商用。

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