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本发明公开了一种制造结构（１１００）的方法，所述方法包括在衬底（１０１）上形成罩元件（４０１），去除罩元件（４０１）下的衬底（１０１）的材料（１０３），从而在罩元件（４０１）和衬底（１０１）之间形成间隙（８０２），并重新布置罩元件（４０１）...
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