一种密封结构以及制造这种密封结构的方法技术

技术编号:5478859 阅读:166 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种制造结构(1100)的方法,所述方法包括在衬底(101)上形成罩元件(401),去除罩元件(401)下的衬底(101)的材料(103),从而在罩元件(401)和衬底(101)之间形成间隙(802),并重新布置罩元件(401)和/或衬底(101)的材料,从而合并罩元件(401)和衬底(101),以桥接间隙(802)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种制造结构(1100)的方法,所述方法包括: 在衬底(101)上形成罩元件(401); 去除所述衬底(101)和所述罩元件(401)之间的邻接区域中的材料(103),从而形成所述罩元件(401)和所述衬底(101)之间的间隙( 802); 重新布置所述罩元件(401)和/或所述衬底(101)的材料,从而合并所述罩元件(401)和所述衬底(101),以桥接所述间隙(802)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:约翰内斯东科尔斯埃尔文海曾菲利普默尼耶贝亚尔格哈德科普斯
申请(专利权)人:NXP股份有限公司
类型:发明
国别省市:NL[荷兰]

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