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提供一种成膜装置，能够在可靠地维持精确对位后的基板与掩模的重合状态的同时将该基板与重物部件、磁体良好地重合固定。成膜装置具有成膜用掩模（５）和在与该成膜用掩模（５）重合的基板（６）的表面形成薄膜的成膜单元，该成膜装置还具备：对位机构，其使成...
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