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在磁控管溅镀装置中可均匀地腐蚀阴极靶的外周缘部，阴极靶的利用效率高，此外，不易产生异常放电，可形成良好的薄膜。在与处理基板相向配置的阴极靶（４２）的后面配置有磁铁组合件（５），该磁铁组合件（５）具有沿长度方向线性配置的中央磁铁（５２），以及...
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