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本发明公开一种用于将液体从盘形物品的表面清除的方法，该方法包括以下步骤：围绕垂直于盘形物品的主要表面的轴线旋转该盘形物品；当旋转时，将液体供应至盘形物品上，其中，液体从供液口供应，该供液口朝向盘形物品的边缘越过基片运动；通过第一供气口将第一...
该专利属于SEZ股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过SEZ股份公司授权不得商用。

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